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线光谱共聚焦3D成像系统

3D线光谱共焦传感器是用来测量物体的厚度、平面度、微观形貌、微小瑕疵、翘曲度等,适用于各种高精密测量场景,如高反光,镜面,透明,弯曲,倾斜,漫反射,彩色,粗糙,高对比度,还可测量透明涂层的厚度和空隙。SZ-Spec系列线光谱共聚焦3D成像系统,主要用于解决3D轮廓精密测量问题,满足半导体、3D玻璃、精密点胶、精密零部件等测量和检测需求。

产品优势

高性能3D成像传感器,提供亚微米级三维形貌数据,赋能电子、半导体行业微纳检测场景。

  • 超高速的测量运算测量模块,帧率最高2000Hz

  • 软件内置完备的点云后处理算法

  • 达到亚微米级重复精度

  • ±25°大角度适应性,适用于多种工作场景

  • 专为复杂的大批量工业应用而做的一体化设计,易于集成到各种检测系统当中

  • 完备的SDK及技术支持,定制化的售后服务

核心参数

传感器型号 SZ-Spec-2 SZ-Spec-5 SZ-Spec-10
线长 2.2mm 5.2mm 10.4mm
量程 2.0mm 1.4mm 1.6mm
光斑大小 10.0μm 4.0μm 8.0um
点间隔 11.0μm 10.0μm 20.0um
横向分辨率 5.0μm 2.0μm 4.0um
轴向分辨率 1.0μm 0.7μm 0.8um
精度 0.3μm 0.2um 0.3um
最大测量倾角 ±20° ±35° ±20°
满量程扫描速度 250Hz 1000Hz 1000Hz
最大扫描速度 500Hz 2000Hz 2000Hz
工作距离 18.0mm 5.0mm 8.0mm
尺寸 480mm×170mm×80mm 590mm×285mm×120mm 620mm×285mm×120mm
重量 4.5kg 19.0kg 19.5kg

工件实物与点云数据对照图

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